半導(dǎo)體廢氣處理設(shè)備是專門設(shè)計用于凈化和處理半導(dǎo)體制造過程中產(chǎn)生的有害氣體的系統(tǒng)。這些設(shè)備通過各種技術(shù)手段，如吸附、催化燃燒、生物處理等，有效去除廢氣中的有害物質(zhì)，如揮發(fā)性有機(jī)化合物（VOCs）、酸性氣體和重金屬等，以達(dá)到環(huán)境保護(hù)和職業(yè)健康的要求
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| 產(chǎn)品 | KT-DS100 | KT-DS200 |
| 類型 | 吸附式 | 吸附式 |
| 處理能力 | 100SLM | 200SLM |
| 適用氣體 | F2，CL2，HF，HCL，DCS，TCSBF3等 | F2，CL2，HF，HCL，DCS，TCSBF3等 |
| 適用工藝 | ETCH/DIFF/CVD等 | ETCH/DIFF/CVD等 |
| 電源 | 220V, 1Ф，10A,50/60Hz | 220V, 1Ф，10A,50/60Hz |
| 氮?dú)?br/> | Max.60LPM, 5 kg/cm2 | Max.100LPM, 5 kg/cm2 |
| 冷取水 | N/A | N/A |
| 氣體入口 | KF40*4 | KF40*4 |
| 排氣口 | Ф100 | Ф100 |
| 設(shè)備尺寸 | 800Wx600Dx1850H | 1200Wx700Dx1850H |
吸附式廢氣處理設(shè)備具有多種優(yōu)勢：它能夠有效去除多種有害氣體，包括揮發(fā)性有機(jī)化合物（VOCs）、硫化氫、氨氣等，適用于化工、制藥、印刷等行業(yè)。其次，設(shè)備操作簡單，維護(hù)成本低，且占地面積小，適合空間受限的場合。此外，通過選擇合適的吸附材料和設(shè)計合理的吸附床結(jié)構(gòu)，可以實(shí)現(xiàn)對特定污染物的高效去除。
1、處理特氣效率完美
2、運(yùn)營成本低，無廢水
3、易維護(hù)&更換吸附桶方便
4、操作穩(wěn)定，可PLC/Touch Panel自動控制
5、配置應(yīng)急或備份吸附桶，無縫切換
6、主要應(yīng)用行業(yè):Semi、FPD、Solar、LED
7、主要應(yīng)用工藝:IMP/Etch/MOCVD/廠務(wù)等
8、吸附劑容量:100L
| 產(chǎn)品 | KT-CW600 | KT-CW1200 |
| 類型 | 水洗式 | 水洗式 |
| 處理能力 | 600SLM | 1200SLM |
| 適用氣體 | NH3、C12、HC1、HBr、S02、NO2等溶于水的氣體 | NH3、C12、HC1、HBr、S02、NO2等溶于水的氣體 |
| 適用工藝 | ETCH/DIFF/CVD等 | ETCH/DIFF/CVD等 |
| 電源 | 220V, 1Ф，16A,50/60Hz | 220V, 1Ф，32A,50/60Hz |
| 氮?dú)?br/> | Max.60LPM, 5 kg/cm2 | Max.100LPM, 5 kg/cm2 |
| 自來水 | 5~8LPM, 3kg/cm2 | 8~15LPM, 3kg/cm2 |
| 氣體入口 | KF40*4 | KF40*8 |
| 排氣口 | Ф100 | Ф100 |
| 設(shè)備尺寸 | 800Wx600Dx1850H | 1500Wx700Dx1850H |
水洗式廢氣處理設(shè)備具有結(jié)構(gòu)簡單、操作方便、投資成本低等優(yōu)點(diǎn)。它能夠適應(yīng)各種規(guī)模的半導(dǎo)體廢氣處理需求，特別適用于處理大風(fēng)量、低濃度的廢氣
1、使用耐腐蝕材料，整體防腐蝕設(shè)計
2、維護(hù)方便，操作穩(wěn)定，PLC/Touch Panel自動控制運(yùn)營成本低
3、主要應(yīng)用行業(yè):Semi、FPD、Solar、LED
4、主要應(yīng)用工藝:Etch/廠務(wù)等
5、處理容量:600LPM
6、設(shè)備處理氣體種類:NH3.CI2.HC.HBr.SO2.NO2等溶于水的氣體
| 產(chǎn)品 | KT-EW800 | KT-EW1600 |
| 類型 | 電熱水洗式 | 電熱水洗式 |
| 處理能力 | 800SLM | 1600SLM |
| 適用氣體 | SiH4、PH3、B2H6、CL2、HBr、NH3、CH4等 | SiH4、PH3、B2H6、CL2、HBr、NH3、CH4等 |
| 適用工藝 | ETCH/DIFF/CVD/IMP等 | ETCH/DIFF/CVD/IMP等 |
| 電源 | 220V, 1Ф，40A,50/60Hz | 220V, 1Ф，80A,50/60Hz |
| 氮?dú)?br/> | Max.60LPM, 5 kg/cm2 | Max.100LPM, 5 kg/cm2 |
| 壓縮空氣 | Max.100LPM, 5 kg/cm2 | Max.180LPM, 5 kg/cm2 |
| 氣體入口 | KF40*4 | KF40*8 |
| 排氣口 | Ф100 | Ф100 |
| 設(shè)備尺寸 | 900Wx750Dx1850H | 1500Wx800Dx1850H |
電熱水洗式廢氣處理設(shè)備的優(yōu)勢在于其能夠處理多種類型的廢氣，特別是那些含有水溶性污染物的廢氣。電加熱功能使得設(shè)備在處理低溫或寒冷環(huán)境下的廢氣時更加高效。
1、采用筒式加熱棒，高加熱效率及均勻熱分布，溫度850℃
2、操作簡便，PLC/Touch Panel自動控制整體防腐設(shè)計
3、可選配濕式靜電除塵模塊
4、運(yùn)行成本低
5、廣泛應(yīng)用于Semi、FPD、Solar、LED行業(yè)的各種工藝
6、處理容量:600SLM-1600SLM
| 產(chǎn)品 | KT-PW600 | KT-PW1200 |
| 類型 | 等離子水洗式 | 等離子水洗式 |
| 處理能力 | 600SLM | 1200SLM |
| 適用氣體 | NF3、CF4、SF6、C4F8、C2F6、SiH4、PH3、B2H6、CL2、NH3、CH4等 | NF3、CF4、SF6、C4F8、C2F6、SiH4、PH3、B2H6、CL2、NH3、CH4等 |
| 適用工藝 | ETCH/DIFF/CVD/IMP等 | ETCH/DIFF/CVD/IMP等 |
| 電源 | 220V, 3Ф，100A,50/60Hz | 220V, 1Ф，160A,50/60Hz |
| 氮?dú)?br/> | Max.50LPM, 5 kg/cm2 | Max.100LPM, 5 kg/cm2 |
| 壓縮空氣 | Max.100LPM, 5 kg/cm2 | Max.180LPM, 5 kg/cm2 |
| 冷卻水 | 5~8LPM, 20~30℃，3kg/cm2 | 8~15LPM, 20~30℃，3kg/cm2 |
| 氣體入口 | KF40*4 | KF40*8 |
| 排氣口 | Ф100 | Ф100 |
| 設(shè)備尺寸 | 800Wx600Dx1850H | 1500Wx700Dx1850H |
等離子水洗式廢氣處理設(shè)備具有多項優(yōu)點(diǎn)：首先，它能夠處理多種難以降解的有害氣體，適用范圍廣；其次，設(shè)備運(yùn)行穩(wěn)定，凈化效率高，能夠滿足嚴(yán)格的環(huán)保要求；再者，該設(shè)備結(jié)合了等離子體的高能量特性和水洗的物理吸收作用，實(shí)現(xiàn)了高效的廢氣凈化。
1、低功率，高性能
2、出色的PFC氣體處理效率
3、通過配置靜電除塵系統(tǒng)，達(dá)到超過99%的副產(chǎn)物顆粒處理效率
4、等離子火炬使用壽命長
5、出色的防腐蝕設(shè)計
6、自動模式，使用簡便
7、主要應(yīng)用行業(yè):Semi、FPD、Solar、LED
8、主要應(yīng)用工藝:Etch/CVD等
我們建有300平米千級潔凈間，并且通過了ISO9001和ISO14001質(zhì)量體系認(rèn)證。我們追求精益求精，用品質(zhì)贏得客戶信任。
對供應(yīng)商的所有原材料嚴(yán)格執(zhí)行驗收
生產(chǎn)過程中，每完成一道工序均進(jìn)行嚴(yán)格的質(zhì)量監(jiān)測
遵循出廠檢驗報告，逐項監(jiān)測，確保交付設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行
