BSGS氣體供應(yīng)設(shè)備

BSGS氣柜，全稱為大宗特氣供應(yīng)系統(tǒng)（Bulk Specialty Gas Supply System），是一個(gè)用于實(shí)現(xiàn)電子特殊氣體的持續(xù)大流量不間斷安全供應(yīng)的系統(tǒng)。特別適用于適用于半導(dǎo)體、TFT、Sun Solar、LED等工廠的特氣供應(yīng)，例如SiH4、NF3、NH3、N2O、HCl等氣體。

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設(shè) 備概況

Use & Feature

產(chǎn)品簡介

BSGS氣柜，全稱為大宗特氣柜（Bulk Specialty Gas Supply System），是一個(gè)用于實(shí)現(xiàn)電子特殊氣體的持續(xù)大流量不間斷安全供應(yīng)的系統(tǒng)。這個(gè)系統(tǒng)特別適用于半導(dǎo)體、TFT、Sun Solar、LED等工廠的特氣供應(yīng)，例如SiH4、NF3、NH3、N2O、HCl等氣體。

BSGS氣柜主要由壓力容器、氣體進(jìn)出口閥門、壓力傳感器、壓力調(diào)節(jié)閥和控制系統(tǒng)等組成。其中，壓力容器是氣柜的核心部件，用于儲(chǔ)存氣體并承受氣體壓力。氣體進(jìn)出口閥門用于控制氣體的進(jìn)出，壓力傳感器用于監(jiān)測氣體的壓力變化，壓力調(diào)節(jié)閥用于調(diào)節(jié)氣體的壓力，而控制系統(tǒng)則用于實(shí)現(xiàn)對(duì)氣柜的自動(dòng)控制。

BSGS氣柜具有多種安全功能，如自動(dòng)吹掃、自動(dòng)切換以及緊急情況下的自動(dòng)安全切斷等。其內(nèi)部PLC程式設(shè)計(jì)的安全聯(lián)鎖功能、高純閥件的合理選擇和布局、調(diào)壓閥J-T效應(yīng)加熱器等，既滿足了半導(dǎo)體工藝生產(chǎn)過程中對(duì)特殊氣體連續(xù)大流量供給和高純度的要求，同時(shí)也確保了工廠正常生產(chǎn)和員工人身安全。

此外，BSGS氣柜還配備了觸摸屏操作界面，具有遠(yuǎn)程通訊、自動(dòng)抽真空、自動(dòng)保壓、緊急切斷、報(bào)警設(shè)置等多種功能。用戶可以根據(jù)需要選擇全自動(dòng)、半自動(dòng)或手動(dòng)操作模式。

總的來說，BSGS氣柜是一個(gè)高效、安全、可靠的電子特殊氣體供應(yīng)系統(tǒng)，為半導(dǎo)體等行業(yè)的生產(chǎn)提供了重要的支持。

BSGS設(shè)備參數(shù)

供氣管路	316L EP 1/4VCR,1/2VCR,3/4VCR
吹掃管路	316L EP 1/4 VCR 100PSI PN2(999.99%)
保壓管路	316L EP 1/4 VCR 1000PSI PN2(999.99%)
真空管路	真空管路 316 EP 1/4 VCR 100PSI 50SLPM GN2
排放管路	316 BA 1/2 VCR
氣動(dòng)氣源	316 BA 1/4 LOK 60-90PSI GN2&CDA
消防水源	1/2 NPT 30-40PSI
排風(fēng)	6'' 風(fēng)壓 200Pa
易燃?xì)怏w可選功能	UV/IR SENSOR
液態(tài)氣體可選功能	1、磅秤
危險(xiǎn)氣體可選功能	1、Vavle Shutter 2、Auto Guard
低壓氣體可選功能	1、鋼瓶加熱夾克 2、盤面管路加熱
高壓氣體可選功能	1、二級(jí)調(diào)壓 2、HEATING BLOCK
所有氣體可選功能	1、Exaust Alarm 2、Z-Purge Alarm 3、以太網(wǎng)遠(yuǎn)程通訊