特氣柜是一種專為供應(yīng)特種氣體而設(shè)計(jì)的設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光電子、太陽能、醫(yī)藥等行業(yè)。特種氣體通常具有易燃、易爆、有毒、腐蝕性等特性，因此特氣柜的設(shè)計(jì)需要滿足高標(biāo)準(zhǔn)的安全性和穩(wěn)定性要求。
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特氣柜是一種專為儲存和處理特種氣體而設(shè)計(jì)的高端設(shè)備，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體制造、LED制造、化學(xué)實(shí)驗(yàn)、工業(yè)生產(chǎn)等領(lǐng)域。它具備自動(dòng)吹掃、自動(dòng)切換以及緊急情況下的自動(dòng)安全切斷等功能，確保氣體的安全使用和儲存。
| PN2入口壓力 | 80PSI，1/4 MALE VCR接口 |
| GN2入口壓力 | 80PSI，1/4 MALE VCR接口 |
| CDA入口壓力 | 4-10bar，1/4卡套接口 |
| VENT | 1/2VCR接口 |
| 工藝氣體出口 | 兩路1/4 MALE VCR接口 |
| 特氣柜柜體換氣量 | SiH4-1200次/小時(shí)，其余300次/小時(shí) |
| 電源 | 220V（半自動(dòng)） |
| 防爆玻璃觀察窗 | 標(biāo)配 |
| 按瓶數(shù)分類 | 單瓶柜(架)/二瓶柜(架) |
| 按操作方式分類 | 手動(dòng)、半自動(dòng) |
| 特氣柜尺寸 | 800mm長——540mm寬——1800mm高（可根據(jù)客戶要求定制） |
| 控制柜尺寸 | 800mm長——230mm寬——320mm高 |
1、氣路配件，接頭、閥門等全部是進(jìn)口電子級材料，管道為316L，自動(dòng)軌道焊接。
2、氣路設(shè)計(jì)合理完善，工作管路具備抽空、回充、壓力指示等功能，氣瓶柜留有排氣口，并具有負(fù)壓檢測。根據(jù)實(shí)際需要可安裝稱重、加熱等裝置。
3、氣瓶柜箱體采用安全設(shè)計(jì)，所選用的材料適用于各種不同性質(zhì)的氣體，美觀，緊湊，安全，質(zhì)優(yōu)價(jià)廉，可按照客戶要求定制。
4、完善的安全報(bào)警裝置，具有氣體泄漏檢測報(bào)警(如SiH4、PH3、HOL等泄漏報(bào)警)報(bào)警信號被觸發(fā)時(shí)，自動(dòng)切斷。
5、內(nèi)部管路采用BA/EP級316L潔凈管路，VCR5件套，彎頭，三通，隔膜閥。
6、內(nèi)部零件品牌有美國Swagelok，APTECH，PARKER,; 韓國 TK，UNI-LOK ;日本FJK，KITZ。
7、交貨期短，常用配件備有大量庫存。
8、完善的售前、售后服務(wù)，贏得客戶認(rèn)可。
可以為 MOCVD、PECVD、刻蝕機(jī)等設(shè)備配套，應(yīng)用于半導(dǎo)體、太陽能電池、生物工程、微電子等行業(yè)。
我們建有300平米千級潔凈間，并且通過了ISO9001和ISO14001質(zhì)量體系認(rèn)證。我們追求精益求精，用品質(zhì)贏得客戶信任。
對供應(yīng)商的所有原材料嚴(yán)格執(zhí)行驗(yàn)收
生產(chǎn)過程中，每完成一道工序均進(jìn)行嚴(yán)格的質(zhì)量監(jiān)測
遵循出廠檢驗(yàn)報(bào)告，逐項(xiàng)監(jiān)測，確保交付設(shè)備穩(wěn)定運(yùn)行
