流化床氣相沉積設(shè)備FB-CVD

流化床氣相沉積反應(yīng)器FB-CVD

反應(yīng)器內(nèi)的粉體材料在載氣的帶動(dòng)下形成流化態(tài),再進(jìn)行包覆、燒結(jié)等工藝。以流化床為反應(yīng)器的CVD工藝具有包覆均勻等特點(diǎn)。

設(shè)備簡(jiǎn)述

FB-CVD的優(yōu)勢(shì)1、流化床反應(yīng)器的傳熱和傳質(zhì)系數(shù)高,比傳統(tǒng)的固定床反應(yīng)器和移動(dòng)床反應(yīng)器高1個(gè)數(shù)量級(jí)以上。

2、流化床反應(yīng)器反應(yīng)區(qū)溫度均勻,所以對(duì)于強(qiáng)熱效反應(yīng)熱擴(kuò)散和熱補(bǔ)充都有著明顯的優(yōu)勢(shì)。

3、因反應(yīng)區(qū)的溫度控制均勻,相比于固定床反應(yīng)器,流化床反應(yīng)器在控溫反應(yīng)的溫度精度一致性上

4、流化床反應(yīng)器的單位產(chǎn)能大,因?yàn)槟苄Ш徒佑|充分，單位床層的生產(chǎn)能力遠(yuǎn)遠(yuǎn)大于傳統(tǒng)的固定床有著不可替代的優(yōu)勢(shì)。

5、因?yàn)榉磻?yīng)區(qū)質(zhì)點(diǎn)均處于流動(dòng)態(tài)，易于物料的加注和卸出，對(duì)于能耗和生產(chǎn)效率都有明顯的提升反應(yīng)器和移動(dòng)床反應(yīng)器。

6、設(shè)備采用自動(dòng)化控制更加接近于商業(yè)化設(shè)備，并明顯提高性能穩(wěn)定性。

7、設(shè)備采用一體化設(shè)計(jì),滿足防爆需求。