閥門盤VMP

以為客戶提供高純/特氣供應(yīng)系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)室/研究院所供氣系統(tǒng)、大型氣體監(jiān)測(cè)控制系統(tǒng)（GMS/GDS)、氣體管道工程、尾氣處理整體設(shè)計(jì)、安裝調(diào)試等一體式的工程服務(wù)。

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設(shè) 備概況

Use & Feature

經(jīng)過多年的積累，武漢凱芯通半導(dǎo)體技術(shù)有限公司可以為客戶提供高純/特氣供應(yīng)系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)室/研究院所供氣系統(tǒng)、大型氣體監(jiān)測(cè)控制系統(tǒng)（GMS/GDS)、氣體管道工程、尾氣處理整體設(shè)計(jì)、安裝調(diào)試等一體式的工程服務(wù)。從選型咨詢、產(chǎn)品供應(yīng)、技術(shù)支持、工程安裝、用戶培訓(xùn)、客戶服務(wù)等，提供整套優(yōu)質(zhì)成熟的氣體解決方案。

特氣柜（Gas Cabinet），氣體流量控制箱（BSGS），氣瓶架(Rack)、閥門箱（VMB），閥門盤（VMP），氣體混合系統(tǒng)（GAS BOX）。

主要應(yīng)用于：半導(dǎo)體，太陽(yáng)能電池，微電子等需要高純氣體的行業(yè)，用于為PECVD，MOCVD等設(shè)備提供潔凈，安全的氣體。

有：?jiǎn)纹抗?，雙瓶柜兩種。

控制有全自動(dòng)型，半自動(dòng)型和手動(dòng)型三種。

內(nèi)部管路采用BA/EP級(jí)316L潔凈管路，VCR5件套，彎頭，三通，隔膜閥。

內(nèi)部零件品牌有美國(guó)Swagelok, APTECH，PARKER,；韓國(guó) TK, UNI-LOK ；日本FJK, KITZ。