閥門箱VMB

經(jīng)過多年的積累，武漢凱芯通半導(dǎo)體技術(shù)有限公司可以為客戶提供高純/特氣供應(yīng)系統(tǒng)、實(shí)驗(yàn)室/研究院所供氣系統(tǒng)、大型氣體監(jiān)測控制系統(tǒng)（GMS/GDS)、氣體管道工程、尾氣處理整體設(shè)計(jì)、安裝調(diào)試等一體式的工程服務(wù)。從選型咨詢、產(chǎn)品供應(yīng)、技術(shù)支持、工程安裝、用戶培訓(xùn)、客戶服務(wù)等，提供整套優(yōu)質(zhì)成熟的氣體解決方案。

VMB-Valve Manifold Box  閥組箱（用于危險(xiǎn)性氣體）。

可以根據(jù)實(shí)際需求將氣體分路，同時(shí)供應(yīng)多臺(tái)設(shè)備用氣，實(shí)現(xiàn)一分N路的裝置。設(shè)計(jì)時(shí)可以加調(diào)壓閥，二次減壓讓壓力更穩(wěn)定。

內(nèi)部管路采用BA/EP級(jí)316L潔凈管路，VCR5件套，彎頭，三通，隔膜閥。

內(nèi)部零件品牌有美國Swagelok, APTECH，PARKER,； 韓國 TK, UNI-LOK ；日本FJK, KITZ

特氣柜（Gas Cabinet），氣體流量控制箱（Gas Box by MFC），氣瓶架(Rack)、閥門箱（VMB），閥門盤（VMP）。
主要應(yīng)用于：半導(dǎo)體，太陽能電池，微電子等需要超純潔凈氣體的行業(yè)。
主用用于為PECVD，MOCVD等設(shè)備提供潔凈，安全的氣體。
有單瓶柜，雙瓶柜，控制有全自動(dòng)，半自動(dòng)，手動(dòng)型。